芯片封装车间强制要求低卤 / 无卤丁腈手套,根本原因只有一个:
卤素(氯 Cl、溴 Br)会高温腐蚀芯片金属、焊盘、引线框架,直接导致芯片失效、分层、开路、短路。
粘片 → 焊线 → 塑封 / 固化 → 高温烘烤 → 测试
关键温度:
焊线:约 150~200℃
模塑封装:175℃左右
后固化烘烤:150~180℃ 数小时
普通丁腈、PVC、普通橡胶里含有:增塑剂、阻燃剂、加工助剂
这些东西里大量含氯、溴。
一旦遇到封装高温:卤素会挥发 → 形成卤化氢气体(HCl、HBr) → 强腐蚀性
腐蚀金线 / 铝线 / 铜引线
引线极细,腐蚀一点点就断路、虚焊。
腐蚀焊盘、金属框架
焊盘氧化、发黑、脱层,导致接触不良。
腐蚀塑封料与芯片界面
出现分层、气泡、潮气入侵,芯片直接报废。
腐蚀键合点
最致命:键合强度下降,冷热冲击后直接脱落。
最终表现:
功能不良
可靠性失效
高温高湿测试(HAST、TC)直接挂
批量良率暴跌
无乳胶蛋白,不过敏
耐化学、耐油、耐撕裂
发尘量极低,适合千级 / 百级无尘
不污染晶圆、框架、腔体
行业标准很明确:
无卤:Cl<900ppm,Br<900ppm,Cl+Br<1500ppm
低卤:控制在更低水平,满足先进封装
普通手套卤素可能几千甚至上万 ppm,封装车间完全不能用。
很多人误区:
“只要防静电就行”
错!
封装车间是三重要求:
ESD 防静电(防静电打坏芯片)
低卤 / 无卤(防高温腐蚀)
低发尘 / 低离子析出(防微污染)
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